Teflon örtükli keramiki uç effektory – Duýgur wafer bilen işlemek üçin ýapyşmaýan ýüz
St.Cera-nyň Teflon (PTFE) bilen örtülen keramiki uç effektory ýokary berklikli alýumin substratyny birmeňzeş, pes sürtülmeli PTFE örtügi bilen birleşdirýär (galyňlygy 15–30 μm). Örtük örän pes sürtülme koeffisiýentini (≤0.1), ajaýyp himiki garşylygy we ýapyşmaýan häsiýetleri üpjün edýär, plastinkanyň ýapyşmagynyň öňüni alýar we arka tarapdaky hapalanmany aradan aýyrýar. Aşakdaky keramiki substrat (99.8% Al₂O₃) ýokary egilme güýjüni (361–1000 MPa), aşynma garşylygyny we 260°C çenli termal durnuklylygyny hödürleýär (örtük çägi). Bu uç effektor inçe, inçe ýa-da ýapyşýan plastinkalary (meselem, fotorezist örtüginden ýa-da himiki proseslerden soň) ulanmak üçin idealdyr.
Tehniki häsiýetnamalar (PTFE örtükli 99.8% Al₂O₃ substratyna esaslanýar):
| Emläk | Bahasy |
| Substrat materialy | 99.8% alýumin oksidi (fil süňkünden) |
| Örtük materialy | PTFE (Teflon) |
| Örtük galyňlygy | 15–30 μm |
| Sürtülme koeffisiýenti (örtülen) | ≤0.1 |
| Substratyň egilme güýjü (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substratyň gatylygy (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substratyň dykyzlygy | 3.93 g/sm³ |
| Maksimum Işleýiş Temperaturasy (örtük çägi) | 260°C |
| Ýüziň gödekligi (örtmezden öň) | Ra ≤0.4 μm |
| Dielektrik güýji (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Bellik: PTFE örtügi iň ýokary temperaturany 260°C bilen çäklendirýär; has ýokary temperatura üçin örtülmedik keramiki ýa-da beýleki örtükleri göz öňünde tutuň.
Ulanyşlar:
- · Fotorezist örtüginden soň waflileri ulanmak (ýapyşýan ýüzler)
- · Inçe ýa-da döwülýän waflileriň geçirilmegi (ýapyşmagynyň öňüni alýar)
- · Ýarymgeçirijileri barlamak we metrologiýa gurallary
- · Bölejikleriň hapalanmagynyň iň pes derejä düşürilmeli arassa otag awtomatlaşdyrmasy
Önümçilik prosesi:
Keramiki substrat sinterlendi we takyk topraklama → ýüzi gödekleşdirmek (plazma aşındyrma ýa-da çäge üflemek) → PTFE püskürtme örtügi → 380°C-de gyzdyryp berkimek → soňky barlag. Her bir uj effektor örtügiň galyňlygyna (burulga tokuna), ýelmeşmä (ASTM D3359 kesiş synagy) we sürtülme koeffisiýentine barlanýar.
Hil gözegçiligi:
Igne deşikleri ýa-da köpürjikleri 100% wizual barlag; örtügiň galyňlygynyň birmeňzeşligi ±5 μm aralygynda; şaýat kuponynda 90° egilme synagyndan soň delaminasiýa ýok. Ölçegleriň OEM çydamlylygyna (uzynlygy ±0,05 mm, tekizligi ≤0,1 mm) barlanmagy.
Örtülmedik ýa-da beýleki örtüklere garanyňda artykmaçlyklary:
- · Ýapyşmaýan ýüz plastilin ýelmeşmeginiň we döwülmeginiň öňüni alýar
- · Keramik örtükleriň arasynda iň pes sürtülme koeffisiýenti
- · Ajaýyp himiki garşylyk (kislotalara, esaslara, erginlere)
- · Materiallaryň geçirilmeginiň öňüni almak arkaly bölejikleriň döremegini azaldýar
Çäklendirmeler (material çetleşmeleri barada bellikler):
PTFE örtügi berlen material häsiýetleriniň tablisalaryndan (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) alynmaýar. Substrat häsiýetleri berlen maglumat kagyzyna berk eýerýär (99.8% Al₂O₃). Örtük häsiýetleri senagat standartyndaky PTFE aýratynlyklaryna esaslanýar, sebäbi örtük maglumatlary berilmedi. 260°C-den ýokary temperatura üçin örtülmedik keramiki effektor maslahat berilýär.*
Özleşdirme:
150–1500 mm uzynlyklarda, uç şekillerinde (gyra tutuşy, Bernulli, tekiz), OEM çyzgysyna laýyklykda montaj flanş nagyşlarynda elýeterlidir. Bölekleýin örtük (diňe degýän ýerler) ýa-da doly örtük islege görä.
Ýelimleşme we sürtülme synagy üçin nusga soraň.
