Integrasiýa edilen wakuum kanallary bolan alýumin oksidi keramiki uç effektory
St.Cera-nyň alýumin wakuum effektory takyk işlenen wakuum kanallaryny we sorujy deşikleri gönüden-göni 99,8% ýokary arassa alýumin okis göwresine birleşdirýär. Bu dizaýn daşarky wakuum ýastykçalaryny aradan aýyrýar, bu bolsa birmeňzeş saklamak güýji bilen waferiň gönüden-göni alynmagyny üpjün edýär. Materialyň ýokary egilme güýji (361 MPa) we gatylygy (16 GPa) gaýtalanýan wakuum sikllerinde uzak möhletli ölçegli durnuklylygy üpjün edýär. Ýastykça meýdanynyň tekizligi 10 μm aralygynda saklanýar, bu bolsa waferiň stresiniň we döwülmeginiň öňüni alýar. Wakuum portlary OEM robot gollary bilen aňsat integrasiýa üçin arka montaj flanşynda ýerleşýär.
Tehniki häsiýetnamalar(99.8% Al₂O₃ esasynda):
| Emläk | Bahasy |
| Material | 99.8% alýumin oksidi (fil süňkünden) |
| Dykyzlyk | 3.93 g/sm³ |
| Bükülme güýji | 361 MPa |
| Vickers gatylygy | 16 GPa |
| Ýaşyň Moduly | 380 GPa |
| Termal giňelme | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Ýastykçanyň tekizligi | ≤10 μm |
| Wakuum kanalynyň giňligi | 0.5–2.0 mm |
| Maksimum iş temperaturasy | 800°C |
Ulanyşlar:
● Inçe ýa-da egri waferleri wakuum bilen ýygnamak
● Gyrasyny tutmazdan göni wafer bilen işlemek
● Gün batareýasynyň we LED substratynyň geçirilmegi
Önümçilik:
Sinterlenen alýumin oksidi boşlugy → 5 okly CNC wakuum kanallaryny we deşiklerini burawlamak → ýüzleý sürtmek → ultrases arassalamak → geliý syzdyryş synagy. Her bir effektor wakuumyň birmeňzeşligi üçin 100% akym synagyndan geçirilýär.
Artykmaçlyklary:
● Daşarky wakuum prokladkalary ýok (bölejik çeşmelerini azaldýar)
● Birmeňzeş saklamak basyşy waflileriň alamatlarynyň öňüni alýar
● Himiki taýdan inert we arassa otag bilen utgaşykly
