CVD / PVD proses kameralary üçin ýokary arassalykly alýumin keramiki halka
St.Cera-nyň keramiki halkasy, CVD (Himiki bug çökündisi) we PVD (Fiziki bug çökündisi) proses kameralarynda ulanmak üçin ýörite dizaýn edildi. 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) öndürilen bu halka, plazmany çäklendirmek we kamera diwarlaryny eroziýadan goramak üçin kameranyň astar, fokus halkasy ýa-da proses toplumynyň bölegi hökmünde hyzmat edýär. Material ajaýyp plazma garşylygyny, ýokary dielektrik berkligini (15 × 10⁶ V/m) we 1600°C çenli termal durnuklylygy üpjün edýär, bu bolsa agressiw ftor esasly plazma gurşawlarynda uzak hyzmat möhletini üpjün edýär. Takyk ölçegli çydamlylyklar (ID/OD-da ± 0,05 mm) we tekizlik (≤10 μm) wafer gyralarynyň yzygiderli ýerleşmegini üpjün edýär, çökündileriň deňligini gowulandyrýar we bölejikleriň döremegini azaldýar.
Tehniki häsiýetnamalar (99.8% Al₂O₃ esasynda):
| Emläk | Bahasy |
| Material | 99.8% alýumin oksidi (fil süňkünden) |
| Dykyzlyk | 3.93 g/sm³ |
| Suwuň siňdirilmegi | 0% |
| Bükülme güýji | 361 MPa |
| Synmagyň berkligi | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers gatylygy | 16 GPa |
| Ýaşyň Moduly | 380 GPa |
| Termal geçirijilik | 32 W/m·k |
| Termal giňelme (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Dielektrik güýji | 15×10⁶ V/m |
| Özboluşly garşylyk | >10¹⁴ Ω·sm |
| Maksimum işleýiş temperaturasy | 1600°C |
Ulanyşlar:
- · CVD kamerasynyň fokus halkalary we gyra halkalary
- · PVD kamerasynyň gorag halkalary we gysgyç halkalary
- · Oýmak üçin kameranyň astarlary we örtük halkalary
- · Dielektrik aşındyryş ulgamlarynda plazma çäklendirme halkalary
Önümçilik prosesi:
Izostatik presleme → ýaşyl işläp bejermek → 1600°C-de bişirmek → CNC ID/OD üwmek → ýüzi sürtmek → ultrases arassalamak → 100% CMM barlagy. Örän ýumşak ýüz örtügi (Ra ≤0.4 μm) bölejikleriň ýelmeşmegini azaldýar.
Hil gözegçiligi:
- · 100% ölçeg barlagy (ID, OD, galyňlyk, tekizlik)
- · Boýagyň içine girýän bölekleriniň ýüzündäki mikro çatlaklary barlamak üçin barlag
- · ASTM D149 boýunça dielektrik berklik synagy
- · 20x mikroskopda görünýän reňk üýtgeşikligi ýa-da gözeneklilik ýok
Metall ýa-da kwarts halkalaryna garanyňda artykmaçlyklary:
- · Ftor plazmasyndaky alýumin halkalaryndan 5–10 esse uzak ömür
- · Inçe plýonkalarda metal hapalanmasy ýok
- · Kwarsdan has ýokary plazma garşylygy (eroziýa çukurlary ýok)
- · Uzak wagtlap ulanylandan soň hem elektrik izolýasiýasyny >10¹⁴ Ω·sm saklaýar
Alternatiw material — Kremniý nitridi (Si)₃N₄):
Has ýokary döwülme çydamlylygyny (6.2 MPa·m¹/²) we has gowy termal şok garşylygyny (giňelme koeffisiýenti 3.2×10⁻⁶/℃) talap edýän ulanylyşlar üçin Si₃N₄ halkalary elýeterlidir. Şeýle-de bolsa, alýumin oksidi köp CVD/PVD ulanylyşlary üçin has arzandyr. Sargyt edeniňizde materiala bolan islegiňizi aýdyňlaşdyryň.
Özleşdirme:
- · Montaž üçin deşikler, basgançakly profiller ýa-da garşy deşikler
- · Plazma garşylygyny ýokarlandyrmak üçin Y₂O₃ bilen örtülen ýüz (isleg boýunça)
- · Bölek nomeriniň / lot kodynyň lazer bilen oýulmagy
Bellik:Ýokardaky maglumatlar berlen Al₂O₃ häsiýet tablisasyna berk eýerýär. Si₃N₄ halkalary üçin berlen aýratyn Si₃N₄ maglumat sahypasyna serediň.
