Takyk böleklere bölmek we üwemek üçin alýumin wakuum patrony
St.Cera-nyň alýumin oksidi wakuum patrony 99,8% ýokary arassa Al₂O₃-dan, takyk işlenen wakuum oýuklaryndan öndürilýär. Biziň takyk üwemek ukybymyz 0,003 mm tekizlige we 0,002 mm parallellige ýetýär, bu bolsa dogramak, arka tarap üwemek we barlag wagtynda egriliksiz plastinkanyň berkidilmegini üpjün edýär. Material ýokary egilme güýjüni (361 MPa), gatylygy (16 GPa) we 800°C çenli termal durnuklylygy üpjün edýär. Daşky diametri 600 mm-e çenli tegelek formatlarda (DD) we uzynlygy 1500 mm-e çenli gönüburçluk şekillerde elýeterlidir. Wakuum oýuklary belli bir proses talaplaryna laýyk gelmek üçin ýörite dizaýn edilen (konsentrik, radial ýa-da tor şekilleri). Her bir patron lazer interferometri bilen barlanýar we tekizligi barlamak baradaky hasabat bilen üpjün edilýär.
Tehniki häsiýetnamalar (99.8% Al esasynda)₂O₃& St.Cera önümçilik mümkinçilikleri):
| Emläk | Bahasy |
| Material | 99.8% alýumin oksidi (fil süňkünden) |
| Dykyzlyk | 3.93 g/sm³ |
| Bükülme güýji | 361 MPa |
| Vickers gatylygy | 16 GPa |
| Daşky diametri (maks.) | 600 mm |
| Galyňlygy (maks.) | 100 mm |
| Uzynlyk (maks.) | 1500 mm |
| Tekizlik | 0.003 mm |
| Parallelizm | 0.002 mm |
| Ýüzleýiş | Ra0.1 |
| Maksimum iş temperaturasy | 800°C |
Ulanyşlar:
- · Wafer böleklerini dogramak we ýazmak (200mm/300mm we ondan uly)
- · Inçe waflileriň arka tarapyndan üwelmegi
- · Optiki barlag we zondlama
- · Uly substrat bilen işlemek
Önümçiligiň takyklygy:
- · Göniligi: 0.005 mm
- · Perpendikulýarlyk: 0.005 mm
- · Tegeleklik: 0.002 mm
- · Konsentriklik: 0.01mm
