Wafer bilen işleýän robotlar üçin ýokary arassalykly alýumin oksidi keramiki uç effektory

St.Cera-nyň alýumin oksidi keramiki uj effektory ösen 5 okly CNC üwürtme enjamlaryny ulanyp, 99,8% ýokary arassa Al₂O₃-dan takyk işlenip taýýarlanýar. Önümçilik mümkinçiliklerimize takyk üwürtme maşynlary we CNC işläp bejeriş merkezleri girýär, bu bolsa çylşyrymly geometriýalary ýokary takyklyk bilen döretmäge mümkinçilik berýär. Uj effektor waferleri ýumşak goýmak üçin konus şekilli öň tarapy bolan inçe profile (1,5 mm çenli inçe) eýedir. Material ýokary berkligi (Ýung moduly 380 GPa), ajaýyp aşynma garşylygyny we 800°C çenli termal durnuklylygy üpjün edýär. Her bir enjam 0,003 mm tekizlige, 0,002 mm parallellige we Ra0.1 ýüzleýine ýetmek üçin takyk üwürtmeden geçirilýär, bu bolsa waferleriň yzygiderli gatnaşygyny we ýarymgeçiriji FAB gurşawlarynda bölejiksiz işlemegi üpjün edýär. 150 mm-den 450 mm-e çenli uzynlyklarda, OEM robotlaryna laýyk gelýän ýörite uj geometriýalary (gyra tutuşy, Bernulli, tekiz) we gurnama flanşlary bilen elýeterlidir. Ýüzleýiş opsiýalaryna çarşaflanan, jylaňlanan ýa-da ESD dissipatiw örtük (10⁶–10⁹ Ω/kw) girýär.

Tehniki häsiýetnamalar (99.8% Al esasynda)₂O₃& St.Cera önümçilik mümkinçilikleri):

Ulanyşlar:

• · Wakuum we atmosfer robotlarynda wafer geçişi
• · 200mm/300mm waferler üçin FAB awtomatlaşdyryş uç effektorlary
• · Inçe wafer bilen işlemek (ESD opsiýasy bilen)

Önümçilik mümkinçilikleri:
Biziň takyk üweýji maşynlarymyz we CNC işläp bejeriş merkezlerimiz aşakdakylar bilen çylşyrymly keramiki bölekleri öndürmäge mümkinçilik berýär:

• · Işleýişiň iň ýokary uzynlygy: 1500 mm
• · Iň ýokary daşky diametri: 600 mm
• · Iň pes içki diametri: 0,2 mm
• · Maksimum galyňlyk: 100 mm

Hil gözegçiligi:
Göniligi 0,005 mm, perpendikulýarlygy 0,005 mm, tegelekligi 0,002 mm, parallelligi 0,002 mm, konsentrikligi 0,01 mm CMM tarapyndan tassyklanyldy. Her bir enjam ultrases arkaly arassalanýar we 100-nji synp arassa otag gaplanýar.