Egri we inçe waferleri ulanmak üçin metal bilen berkidilen gözenekli SiC wakuum patrony
St.Cera-nyň metal esasly keramiki wakuum patrony gözenekli kremniý karbidi (SiC) keramiki gatlagyny takyk işlenen metal esas (alýumin ýa-da poslamaýan polat) bilen birleşdirýär. Gözenekli SiC materialy (gök-gara, gözeneklilik 35–40%, gözenek ölçegi 20–30 μm, geçirijilik 60 ml/sm²·min) wakuumyň tutuş plastina ýüzünde deň, ýumşak paýlanmagyny üpjün edýär, gyra alamatlaryny aradan aýyrýar we inçe (≤100 μm) ýa-da egri waflinler üçin kontaktsyz goldawy üpjün edýär. SiC gatlagy pes termal giňelmegi (3.5 × 10⁻⁶/℃), 1000°C çenli termal durnuklylygy we ortaça egilme güýjüni (32–35 MPa) hödürleýär. Metall esas gurluş berkligini, dişli deşikler arkaly aňsat gurnamagy we döwülmeden goramagy goşýar. Bu patron birmeňzeş wakuum we termal gabat gelmegiň möhüm bolan yzky tarapyny üwemek, böleklere bölmek we ýokary temperatura waflin işläp taýýarlamak üçin idealdyr.
Tehniki häsiýetnamalar (berlen gözenekli SiC maglumatlaryna esaslanýar):
| Emläk | Bahasy |
| Keramik material | Gözenekli kremniý karbidi (SiC ≥80%) |
| Reňk | Gök-gara |
| Gözeneklilik | 35–40% |
| Gözenekleriň ululygy | 20–30 μm |
| Dykyzlyk | 2.1–2.3 g/sm³ |
| Geçirijilik | 60 ml/sm²·min |
| Bükülme güýji | 32–35 MPa |
| Termal giňelme koeffisiýenti (25-1000°C) | 3.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum işleýiş temperaturasy | 1000°C |
| Elektrik garşylygy | 10⁻¹⁰ Ω/sm (berlen maglumatlara görä, gözenekli SiC üçin adaty) |
| Metall esas material | Alýumin 6061 ýa-da Dat almaýan polat 304 (isleg boýunça) |
| Metall esas galyňlygy | 10–30 mm (öz islegi boýunça) |
Bellik: Gözenekliligi sebäpli egilme berkligi dykyz SiC-den pes. Metall esas häsiýetleri keramiki stollardan däl.
Ulanyşlar:
- · Inçe waferleriň arka tarapyny üwemek (≤100 μm)
- · Käselemek üçin egri wafli oturtma
- · Ýokary temperatura bilen waferiň zyňylmagy (1000°C çenli)
- · Gözenekli ýa-da ejiz substratlar üçin wakuum armaturasy
Önümçilik:
Gözenekli SiC plastinkasy (gözenek döredijiler bilen emele getirilen, sinterlenen) → ≤10 μm tekizlige çenli çalşyrylan → wakuum portlary we gurnama aýratynlyklary bilen işlenen metal esas → epoksi birikdirme ýa-da mehaniki gysgyç → geliý syzdyryş synagy.
Hil gözegçiligi:
- · SEM tarapyndan tassyklanan gözeneklilik we gözenek ölçegi
- · Geçirijilik synagy (howa akymy)
- · Lazer interferometri bilen ölçenýän tekizlik
- · Gelium sızma tizligi <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Oýukly ýa-da dykyz keramiki çukurlara garanyňda artykmaçlyklary:
- · Plastinka nyşany ýok – aýry-aýry deşikleri bolmadyk birmeňzeş wakuum
- · Öz-özüni arassalaýan gözenekler – tıkanmanyň azalmagy
- · Egri waflileri (500 μm çenli ýaý) tutýar
- · Metall esas döwülmegiň öňüni alýar we integrasiýany ýeňilleşdirýär
Çäklendirmeler:
- · Pes egilme güýji (32–35 MPa) – zarba ýüklenmesinden gaça duruň
- · Iş temperaturasy 1000°C (gözenekli SiC) bilen çäklendirilen, ýöne mehaniki taýdan berkidilmedik bolsa, metal esasly epoksid baglanyşygy ≤200°C bilen çäklendirilýär
- · Ýokary basyşly wakuum üçin däl (gözenekli gurluş maksimum wakuum tapawudy çäklendirýär)
Özleşdirme:
- · Metall esas: alýumin (ýeňil), poslamaýan polat (korroziýa garşy), Invar (pes giňelme)
- · Baglanyşyk: epoksi (≤200°C) ýa-da mehaniki gysgyç (500°C çenli)
- · Zona wakuum gözegçiligi üçin gyra möhürleýji halka
Üns beriň: Berlen egilme berkligi (32–35 MPa) gözenekliligi sebäpli dykyz keramikadan has pes. Gyralarynyň döwülmeginiň öňüni almak üçin seresaply boluň.
