ST.CERA Özleşdirilen alýumin oksidi keramiki uç effektorly wafer işlemegi

Gysgaça düşündiriş:

ST.CERA içerki boş kanally ESD örtügini we ESD keramiki materialdan ýasalan End Effector / Handling Arm hödürleýär. Biz ýelmeşdiriji ulanmazdan, bir bölek materialyň içinde wakuum howa kanalyny emele getirýän tehnikada ýöriteleşýäris.
Hapalanma, gaz çykma ýa-da bölejikleriň howpy ýok. ST.CERA-nyň ýörite örtük tehnologiýasy bilen işleýän wakuum uç effektory / işleýiş goly elektrik izolýasiýalydyr. Şeýle hem, hiç hili örtüksiz elektrik izolýasiýaly ESD keramik materialyny hödürläp bileris.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.