Wafer bilen işlemek üçin ýokary arassalykly alýumin keramiki robot goly
St.Cera-nyň alýumin oksidi keramiki robot goly 99,8% ýokary arassa Al₂O₃ (alýumin oksidi)-den takyk işlenip düzüldi. Ol ajaýyp egilme güýjüni (361 MPa), ýokary gatylygy (16 GPa) we pes dykyzlygy (3,93 g/sm³) özünde jemleýär, bu bolsa ýarymgeçiriji plastinka geçirmek üçin ýeňil, ýöne berk goly döredýär. Materialyň termal giňelme koeffisiýenti (7,2 × 10⁻⁶/°C) kremniý bilen ýakynlaşýar we gaýtadan işleniş wagtynda termal deňsizlikleri iň pes derejä düşürýär.
Tehniki häsiýetnamalar (99.8% Al₂O₃ esasynda):
| Emläk | Bahasy |
| Reňk | Pil dişi |
| Dykyzlyk | 3.93 g/sm³ |
| Bükülme güýji | 361 MPa |
| Vickers gatylygy | 16 GPa |
| Ýaşyň Moduly | 380 GPa |
| Termal geçirijilik | 32 W/m·k |
| Termal giňelme | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Dielektrik güýji | 15×10⁶ V/m |
Ulanyşlar:
- Wakuum wafer geçiriji robotlar (200mm/300mm)
- Atmosfera dolandyryş ulgamlary
- FAB awtomatlaşdyrmasy üçin uç effektor gollary
Önümçilik prosesi:
Izostatik presleme → ýaşyl işläp bejermek → 1600°C-de bişirmek → CNC takyk öjükdirme → ultrases arassalamak → 100-nji synp arassa otag gaplamasy. Her bir gol tekizlik (±0.01 mm) we ýüzüniň gödekligi (Ra ≤0.4 μm) üçin CMM tarapyndan 100% barlanýar.
Hil gözegçiligi:
St.Cera ISO 9001:2015 sertifikatyna eýe. Biz mikro çatlaklar üçin boýagyň deşilme synagyny, egilme güýjü üçin üç nokatly egilme synagyny we ASTM D149 standartyna laýyklykda dielektrik güýjüniň synagyny geçirýäris.
Metall ýaraglara garanyňda artykmaçlyklary:
- Dat almaýan polatdan 50% ýeňil
- Galwaniki korroziýa ýok
- Pes bölejikleriň döremegi (≤0.05 bölejik/sm²)
- ESD üçin howpsuz örtük elýeterli (10⁶–10⁹ Ω/kw)
Özleşdirme:
OEM çyzgylaryna laýyklykda 150 mm-den 450 mm-e çenli uzynlyklar, uç şekilleri (gyra tutuşy, Bernulli, wakuum) we montaj flanş nagyşlary. Prototipler 2 hepdede.
Köp mukdarda sargytlar üçin, haýyş edýäris, teklip soraň.
