Kremniý karbidi (SiC) keramiki uj effektory – ýokary temperaturaly wafer bilen işlemek üçin ýokary berklik
St.Cera-nyň SiC keramiki uç effektory S1111 partiýa materialyny ulanyp, ýokary arassa kremniý karbidinden (SiC mukdary 99.72%, erkin Si 0.05%) öndürilýär. Ol ajaýyp mehaniki häsiýetleri hödürleýär: egilme güýji 449 MPa (ölçenen), elastiklik moduly 457 GPa (ölçenen) we Wickers gatylygy 25–28 GPa (tipiki). Pes dykyzlyk (3.10–3.15 g/sm³, tipiki) ýokary tizlikli wafer geçiriji robotlar üçin ideal bolan ýokary aýratyn berkligi üpjün edýär. 120–150 W/m·K (tipiki) ýylylyk geçirijiligi we 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ (tipiki) ýylylyk giňelme koeffisiýenti bilen bu uç effektor ýokary temperatura işlenişinde (1600–1700°C çenli, ýüksüz) ýylylygy netijeli ýaýradýar we ölçeg durnuklylygyny saklaýar. Gara/çal reňk we suwuň siňdirilmezligi arassa otagyň gabat gelmegini üpjün edýär.
Tehniki häsiýetnamalar(berlen SiC S1111 synag hasabatyna we adaty gymmatlyklara esaslanýar):
| Emläk | Bahasy |
| Material | SiC (99.72% SiC, 0.05% Erkin Si) |
| Reňk | Gara/Çal |
| Dykyzlyk | 3.10–3.15 g/sm³ |
| Suwuň siňdirilmegi | 0% |
| Bükülme güýji | 449 MPa (ortaça) |
| Synmagyň berkligi | 3.12 MPa·m¹/² (ortaça) |
| Elastik Modul | 457 GPa |
| Vickers gatylygy | 25–28 GPa |
| Ýylylyk geçirijiligi (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum ulanmak temperaturasy (ýüklenmesiz) | 1600–1700°C |
Ulanyşlar:
● Ýokary temperaturaly wafer bilen işlemek (ýaglylandyrmadan soňky, RTP, epitaksiýa)
● Ýokary eroziýa garşylygyny talap edýän plazma aşındyryş kameralary
● Ýokary tizlikli transfer robotlary (ýeňil, ýokary berklik)
Önümçilik:
SiC poroşok sinterleme → gol profiliniň we gurnama aýratynlyklarynyň takyk CNC üwelmegi → ýüzi çarşaplamak → ultrases arassalamak. Wakuum ulanylyşlary üçin 100% ölçegli barlag we geliý sızınty synagy.
Hil gözegçiligi:
● Uzynlygyň, giňligiň we tekizligiň CMM barlagy
● Her bir partiýa üçin egilme güýjüniň synagy (synag hasabatynyň standarty boýunça)
● Mikroskop astynda ýüzdäki kemçilikleri barlamak üçin wizual barlag
Alýumin ýa-da metal bilen deňeşdirilende artykmaçlyklary:
● 2 esse ýokary elastiklik moduly (alýumin oksidi üçin 457 bilen ~380 GPa) – az egilme
● 3 esse ýokary ýylylyk geçirijiligi – ýylylygyň has çalt ýaýramagy
● Howada alýumin oksidiniň 800°C temperaturasyna garşy >1600°C temperatura çydamly
● Poladdan pes dykyzlyk – agramy 40% azaltmaga mümkinçilik berýär
Özleşdirme:
Uzynlyklary 150–450 mm, uç görnüşleri (gyra tutuşy, Bernulli, tekiz), OEM çyzgysyna laýyklykda montaj flanş nagyşlary.
*Ýokardaky ähli mehaniki maglumatlar berlen synag hasabatyndan (partiýa S1111) alynýar. Termal we gatylyk gymmatlyklary bu SiC derejesi üçin adatydyr; partiýa boýunça sertifikatlaşdyrmak üçin biziň bilen habarlaşyň.*
