Ýokary temperatura we plazma gurşawlary üçin kremniý karbidi (SiC) esasly wakuum patrony
St.Cera-nyň SiC esasly keramiki patrony ýokary arassa kremniý karbidinden öndürilýär (partiýa S1111, SiC 99.72%, erkin Si 0.05%). Ol 449 MPa ölçegli egilme güýjüni, 3.12 MPa·m¹/² döwülme berkligini we 457 GPa elastiklik moduluny üpjün edýär. Materialyň adaty ýylylyk geçirijiligi (120–150 W/m·K) we pes ýylylyk giňelmesi (4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃) termal sikl wagtynda temperaturanyň çalt üýtgemegini we plastinkanyň minimal egriligini üpjün edýär. Patron gözenekli wakuum patrony (birmeňzeş gaz akymy) ýa-da oýukly standart patron hökmünde konfigurirlenip bilner. Maksimum ulanyş temperaturasy 1600–1700°C (ýüksüz) we ajaýyp plazma eroziýa garşylygy bilen, bu patron ýokary temperaturaly plastinka gaýtadan işlemek (taýlamak, RTP) we alýumin oksidi patronlarynyň dargaýan agressiw aşynma kameralary üçin idealdyr.
Tehniki häsiýetnamalar(berlen SiC S1111 synag hasabatyna we adaty gymmatlyklara esaslanýar):
| Emläk | Bahasy |
| Material | SiC (99.72% SiC, 0.05% Erkin Si) |
| Dykyzlyk | 3.10–3.15 g/sm³ |
| Suwuň siňdirilmegi | 0% |
| Bükülme güýji | 449 MPa |
| Synmagyň çydamlylygy | 3.12 MPa·m¹/² |
| Elastik Modul | 457 GPa |
| Vickers gatylygy | 25–28 GPa |
| Termal geçirijilik | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum ulanmak temperaturasy (ýüklenmesiz) | 1600–1700°C |
| Tekizlik (300 mm-den ýokary) | ≤5 μm |
| Ýüzleýiş | Ra ≤0.4 μm (gaplanan) |
Ulanyşlar:
● Ýokary temperatura bilen zyňmak (taýlamak, RTP, epitaksial ösüş)
● Ftor garşylygy ýokary bolan plazma aşındyryjy patron
● Birmeňzeş gyzdyryş/sowadyş bilen inçe plastinka bilen işlemek
● Kontaktsyz wafer goldawy üçin gözenekli patron
Önümçilik:
SiC sinterleme → tekizligi we ýüz profilini takyk üwemek → gözenekli gurluşyň döredilmesi (wakuum patrony üçin) → sürtmek → ultrases arassalamak. Her bir patron tekizlik (lazer interferometri) we wakuum deňligi (akym synagy) üçin 100% barlanýar.
Hil gözegçiligi:
● CMM ölçeglerini barlamak (diametri, galyňlygy, deşikleriň ýerleşýän ýerleri)
● ASTM boýunça tekizlik ölçegi
● Gelium sızma synagy (wakuum patronlary üçin)
● Her bir partiýa üçin egilme güýjüniň barlanmagy (synag hasabatyna salgylanyň)
Alýumin çukurlaryna garanyňda artykmaçlyklary:
● Ýokary ýylylyk geçirijiligi (alýumin oksidi üçin 120–150 we 32 W/m·K) – ýylylyk geçirijiligi 4 esse çalt
● Pes CTE (4.0 vs 7.2×10⁻⁶/℃) – plastinkanyň termal stresini azaldýar
● Ýokary plazma garşylygy – ftor aşgarlamasynda 10 esse uzak ömür
● Ýokary iň ýokary ulanyş temperaturasy (alýumin oksidi üçin 1600°C we 800°C)
Özleşdirme:
● Gözenekli ýa-da oýukly ýüz
● Diametri 100–450 mm, tegelek ýa-da inedördül
● Gyra möhürleýji halka ýa-da zona wakuum bölümleri
● Ýokary berklikli montaj üçin metal arka opsiýasy
Ýokardaky ähli mehaniki maglumatlar berlen synag hasabatyndan (partiýa S1111) alynýar. Termal we gatylyk gymmatlyklary bu SiC derejesi üçin adatydyr. Gözenekli SiC patronlary goşmaça işlenmegi talap edýär; anyk gözeneklilik we gözenek ölçegleriniň elýeterliligi barada soraň.
