300 mm plitalary gaýtadan işlemek üçin 12 dýuýmlyk alýumin wakuum patrony

St.Cera-nyň 12 dýuýmlyk wakuum patrony 300 mm wafer bilen işlemek üçin 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) takyklyk bilen işlenip düzüldi. Patron wakuumyň tutuş 300 mm diametr boýunça deň paýlanyşyny üpjün etmek üçin inçe oýukly ýüze eýedir (oýuk ini 0,5–1,0 mm, ädimi 2–3 mm). Tekizlik 5 μm aralygynda saklanýar, bu bolsa waferiň dogralanda, arka tarapy üwelende we barlagda egriliksiz berkidilmegine mümkinçilik berýär. Materialyň ýokary egilme güýji (361 MPa) we gatylygy (16 GPa) gaýtalanýan wakuum sikllerinde hem uzak möhletli ölçegli durnuklylygy kepillendirýär.

Tehniki häsiýetnamalar (99.8% Al₂O₃ esasynda):

Ulanyşlar:

 300 mm waferi dogramak we ýazmak
 Waferiň arka tarapyny üwemek (inçe wafer daýanjy)
 Optiki barlag we zondlama
 Wagtlaýyn birikdiriji/aýryjy patronlar

Önümçilik:

CNC želdelenip, gutarnykly tekizlige çenli aýlanýar, almaz tigirler bilen oýuklanýar, ultrases arkaly arassalanýar we 100-nji synp arassa otagynda gaplanýar. Her bir patron tekizlik (lazer interferometri) we oýugyň çuňlugy (profilometr) üçin 100% barlanýar.

Artykmaçlyklar:

Pes bölejikleriň döremegi (≤0.05 bölejik/sm²)

 Eriji maddalara we kislotalara himiki taýdan inert

ESD üçin howpsuz ýüz (garşylyk >10¹³ Ω·sm)

Öz islegiňize görä wakuum deşikleriniň nusgalary we arka tarapdaky portlar elýeterlidir.