Inçe wafer bilen işlemek üçin alýumin esasly gözenekli keramiki wakuum patrony
St.Cera-nyň alýumin oksidi esasyndaky gözenekli patrony 99,6% ýokary arassa Al₂O₃-dan ýasalýar, açyk gözenekliligi 30–45% we gözenek ölçegi 10-dan 50 μm-e çenli deňdir. Oýukly patronlardan tapawutlylykda, gözenekli ýüzi waferiň arka tarapynyň ähli böleginde paýlanan wakuum üpjün edýär, gyralaryň alamatlaryny aradan aýyrýar we örän inçe (≤100 μm) ýa-da egri waferleri ýumşak saklamaga mümkinçilik berýär. Material egilme güýjüni ≥250 MPa we howada 400°C çenli termal durnuklylygy üpjün edýär.
Tehniki häsiýetnamalar(99.6% Al esasynda₂O₃):
| Emläk | Bahasy |
| Material | 99.6% alýumin oksidi (ak) |
| Gözeneklilik | 30–45% (sazlanyp bilinýän) |
| Ortaça gözenek ölçegi | 10–50 μm |
| Bükülme güýji | ≥250 MPa |
| Dykyzlyk | 3.88 g/sm³ |
| Tekizlik (200 mm-den ýokary) | ≤5 μm |
| Maksimum iş temperaturasy | 400°C (howa) |
| Ýüzleýiş | Ýapylan (Ra ≤0.8 μm) |
Ulanyşlar:
- · Inçe plastinka (≤50 μm) arka tarapyny üwemek
- · Käselemek üçin egri wafli oturtma
- · Singularlaşdyrylan gabyk göteriji
- · Aýna substratyny ulanmak
Önümçilik:
Poroşok gözenek döredijiler bilen garyşdyrylýar → izostatik presleme → 1600°C-de bişirme → gutarnykly galyňlyga çenli çalmak. Her bir patron wakuum deňligi üçin akym synagyndan geçirilýär (basyş üýtgemesi <5%) we gözenek ölçegleriniň paýlanyşy (SEM) barlanýar.
Adaty çarklara garanyňda artykmaçlyklary:
- · Plastinanyň arka tarapynda belgi ýa-da şablonyň süýşmegi ýok
- · 500 μm çenli ýaýly waflileri saklaýar
- · Öz-özüni arassalaýan ýüz (gözenekler tıkanma garşy durýar)
- · Birmeňzeş goldaw ýerli stresi aradan aýyrýar
Customizasiýa:
Tegelek ýa-da kwadrat şekiller, diametri 100–450 mm. Zonalaşdyrylan wakuum dolandyryşy üçin gyra möhürleýji halka bar.
Öz wafer ölçegiňiz üçin nusga soraň.
