Ýarymgeçirijili proses armaturalary üçin keramiki goldaw ştifti
St.Cera-nyň keramiki daýanç ştiftleri (ýükseldiji ştiftler ýa-da daýanç ştiftler diýlip hem atlandyrylýar) ýarymgeçirijili proses kameralarynda waferleri ýa-da substratlary işlemek, gyzdyrmak ýa-da sowatmak wagtynda galdyrmak üçin ulanylýar. 99,8% alýumin oksidinden ýa-da kremniý nitridinden öndürilen bu ştiftler ýokary basyş güýjüni, termal durnuklylygyny we himiki garşylygy üpjün edýär. Ýarymsferik ýa-da tekiz uçly dizaýn waferleriň dyrnaklanmagynyň öňüni alýar.
Tehniki häsiýetnamalar(99.8% alýumin oksidi):
| Emläk | Bahasy |
| Material | 99.8% Al₂O₃ ýa-da Si₃N₄ |
| Uzynlyk | 10 – 100 mm |
| Diametr | 1 – 10 mm |
| Uç şekili | Tekiz, ýarym şar şekilli, uçly |
| Basyş güýji (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimum Iş Temperaturasy (Al₂O₃) | 1600°C |
| Ýüzleýiş | Ýapraklanan (Ra ≤0.4 μm) |
| Diametr boýunça çydamlylyk | ±0.01 mm |
Ulanyşlar:
CVD/PVD kameralaryndaky göteriji ştiftler
Gyzgyn plitada bişirmek üçin goldaw sanjaklary
Zond kartynyň goldaw gurluşlary
Kwarts peç gaýyk daýançlary
Önümçilik:
OD-niň takyk merkezsiz üwelmegi → uç profiliniň almaz üwelmegi → ultrases arassalamak → 100% ölçegli barlag.
Hil gözegçiligi:
Uzynlyk/diametr üçin CMM, uç radiusy üçin optik deňeşdiriji, basyş güýjüni barlamak üçin ýük synagy (her partiýa üçin tötänleýin nusga). Ferromagnit hapalanma ýok (magnit bilen tassyklanyldy).
Metall ýa-da kwarts sanjaklaryna garanyňda artykmaçlyklary:
Dat almaýan polatdan 5 esse uzak ömür
Proses kamerasynda metal hapalanmasy ýok
Kwarsdan has ýokary temperatura ukyby (1600°C we 1100°C)
Ýapyşmaýan ýüz (bölejikleriň ýelmeşmeginiň azaldy)
Özleşdirme:
Köp uçly profiller, dişli esas ýa-da konus şekilli mil.
Şeýle hem, biz ekstremal plazma şertleri üçin SiC ştiftlerini üpjün edýäris.
