CVD/PVD duş başlygy üçin alýumin oksidi gaz paýlaýjy plastina
St.Cera-nyň gaz paýlaýjy plitasy (duş başlygy) ýokary arassalykly 99,8% alýumin oksidi keramikasyndan takyk işlenip taýýarlanyldy. Ol CVD, PVD ýa-da ALD prosesleri wagtynda plastina ýüzünde birmeňzeş gazyň akymyny üpjün edýän birnäçe mikro deşiklere (diametri 0,3–1,5 mm) eýedir. Plastinanyň ýokary dielektrik güýji (>15 × 10⁶ V/m) we plazma garşylygy ony ýarymgeçiriji inçe plýonka çökündisi üçin möhüm edýär.
Tehniki häsiýetnamalar:
| Emläk | Bahasy |
| Material | 99.8% Al₂O₃ ýa-da SiC |
| Diametr | 100 – 1500 mm (tegelek) ýa-da gönüburçluk |
| Galyňlygy | 5 – 20 mm |
| Deşik diametri | 0.3 – 1.5 mm |
| Deşik nusgasy | Özboluşly (üçburçluk, kwadrat, radial) |
| Tekizlik | Tutuş meýdan boýunça ≤10 μm |
| Ýüziň gödekligi | Ra ≤0.6 μm (gaz tarapy) |
| Açyk meýdan gatnaşygy | 5–15% |
Ulanyşlar:
PECVD duş başlyk plitalary
ALD gaz injektorlary
Aşındyryş kamerasynyň gaz paýlaýjy plitalary
MOCVD reaktorynyň bölekleri
Önümçilik:
Alýumin oksidi substraty tekiz örtülen → Almaz örtülen gurallar bilen CNC deşik açma (deşikleriň ýerleşişine çydamlylyk ±0,02 mm) → çukurlary arassalamak → ultrases arassalamak → 100-nji synp gaplama.
Hil gözegçiligi:
Her bir plastinka deşikleriň ululygy (görme ulgamy), tekizligi (lazer interferometri) we gaz akymynyň deňligi (basyş kartalaşdyrmasy) üçin 100% barlanýar. 20x mikroskopda mikro çatlaklar ýok.
Metall plitalara garanyňda artykmaçlyklary:
Inçe plýonkalarda metal hapalanmasy ýok
Az bölejikleriň döremegi (korroziýa bölekleri ýok)
Agressiw arassalaýjy plazmalara (CF₄, NF₃) çydamly
Özboluşly aýratynlyklar:
Arka tarapdaky gaz kanallary, garşy deşikler, gyra möhürleri we dürli materiallaryň derejeleri (ýokary ýylylyk geçirijiligi üçin SiC, plazma garşylygy üçin Y₂O₃ örtügi).
Biz önümçilikden öň CAD barlagyny we akym simulýasiýasyny üpjün edýäris.
