Egri wafer bilen işlemek üçin gözenekli keramiki wakuum patrony
St.Cera-nyň gözenekli keramiki patrony ýokary arassa alýumin oksidinden ýasalýar, açyk gözenekliligi 30–45% we gözenek ölçegleri 10-dan 100 μm-e çenli bolýar. Adaty oýukly patronlardan tapawutlylykda, gözenekli ýüzi waferiň arka tarapynyň ähli böleginde paýlanan wakuum üpjün edýär we gyralary aýrylmazdan ýa-da döwülmezden, egri, inçe ýa-da ýekeleşdirilen waferleri netijeli saklaýar. Ýumşak wakuum (çäklendiriji arkaly sazlanyp bilner) arka tarapyň alamatlarynyň döremeginiň öňüni hem alýar.
Tehniki häsiýetnamalar(99.6% Al esasynda₂O₃):
| Emläk | Bahasy |
| Gözeneklilik | 30–45% |
| Ortaça gözenek ölçegi | 10–100 μm (saýlap bolýar) |
| Bükülme güýji | ≥250 MPa |
| Tekizlik (300 mm-den ýokary) | ≤5 μm |
| Ýüzleýiş | Ýapylan (Ra 0.8 μm) |
| Maksimum wakuum derejesi | -80 kPa |
| Işleýiş temperaturasy | 400°C (howa), 600°C (inert) |
| Material | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ ýa-da SiC |
Ulanyşlar:
Inçe plastinka (≤50 μm) arka tarapyny üwemek
Käselemek üçin egri wafli oturtma
Lentadan ýeke-täk gabyk ýygnamak
Aýna paneli dolandyrmak
Önümçilik we hil:
Keramik poroşok organiki gözenek döredijiler bilen garyşdyrylyp → preslenip → sinterlenip → gutarnykly galyňlyga çenli lehimlenýär. Her bir patron wakuum deňligi (≤5% çykgynsyzlyk) üçin akym synagyndan geçirilýär we gözenek ölçegleriniň paýlanyşy (SEM) barlanýar. Tekizlik lazer interferometri bilen ölçenýär.
Grooved Chucks bilen deňeşdirilende artykmaçlyklary:
Wafer gyrasynyň alamaty ýa-da şablonyň süýşmegi ýok
Egri waflileri saklaýar (500 μm çenli ýaý)
Wakuum deşikleriniň tıkanmagyny aradan aýyrýar
Inçe substratlar üçin öz-özüni deňleşdirýän goldaw
Özleşdirme:
Tegelek ýa-da gönüburçluk şekiller, ölçegi 600 mm çenli. Biz gyralary möhürleýji halkalary ýa-da zona wakuum bölümlerini ulanyp bileris. Ýokary berklik talaplary üçin metal arkaly görnüşleri bar.
Wafer ölçegiňiz we warpag synagyňyz üçin nusga soraň.
