Ýokary temperatura kamerasynyň möhürlenmegi üçin ýokary arassalykly alýumin oksidi keramiki möhür halkasy
St.Cera-nyň keramiki möhür halkasy elastomerleriň dargaýan ekstremal gurşawlarda polimer O-halkalaryna alternatiwa hökmünde döredildi. 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) öndürilen bu berk möhür halkasy statik möhürleme ulanylyşlarynda - adatça ýumşak metal ýa-da grafit prokladkasy bilen birleşdirilende - 800°C-a çenli temperaturada we agressiw plazma ýa-da himiki gurşawlarda ygtybarly wakuum ýa-da gaz saklamasyny üpjün etmek üçin ulanylýar. Material nol gaz çykarma, ýokary basyş güýji (esasy egilme güýji 361 MPa) we himiki inertligi (HF-den başga galogenlere, kislotalara we alkalilere çydamly) hödürleýär. Takyk örtülen möhürleme ýüzleri (tekizligi ≤5 μm, ýüzüniň büdür-büdürligi Ra ≤0,2 μm) birleşýän metal ýa-da keramiki bölekler bilen syzmanyň öňüni almagy üpjün edýär.
Tehniki häsiýetnamalar(99.8% Al esasynda₂O₃):
| Emläk | Bahasy |
| Material | 99.8% alýumin oksidi (fil süňkünden) |
| Dykyzlyk | 3.93 g/sm³ |
| Suwuň siňdirilmegi | 0% |
| Bükülme güýji | 361 MPa |
| Basyş güýji (takmynan) | >2000 MPa |
| Vickers gatylygy | 16 GPa |
| Termal giňelme (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum işleýiş temperaturasy | 800°C (howa), 1600°C (inert) |
| Ýüzi örtük (ýüzüni möhürlemek) | Ra ≤0.2 μm (gaplanan) |
| Tekizlik (25 mm üçin) | ≤5 μm |
| Gelium sızma tizligi | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (degişli prokladka bilen) |
Ulanyşlar:
- · Ýarymgeçiriji proses kamerasynyň statik möhürleri (CVD, PVD, etch)
- · Peç gapysynyň ýokary temperatura möhürleri
- · Wakuum arkaly geçiriji flanşlar
- · Himiki reaktor gämileriniň ýapylmagy
Önümçilik prosesi:
Izostatik presleme → 1600°C-de sinterleme → örän tekiz, ýumşak möhürleýji ýüzleri gazanmak üçin iki taraplaýyn takyklyk bilen örtmek → gyralary fahmlamak → ultrases arassalamak. Her bir halka standart metal prokladkasy bolan geliý sızma detektorynda 100% sızma synagyndan geçirilýär.
Hil gözegçiligi:
- · CMM ölçeg barlagy (ID, OD, galyňlyk, parallellik)
- · Ra we tolkunlylyk üçin ýüz profilometri
- · Optiki tekizlik arkaly tekizligi ölçemek
- · Gelium sızıntısy synagy (yzyna basyş usuly)
Polimer O-halkalaryna garanyňda artykmaçlyklary:
- · FFKM üçin 800 ° C garşy <300 ° C garşy
- · Gaz çykaryş ýok — wakuum gurşawynyň hapalanmagy ýok
- · Plazma himiki maddalarynyň ählisine (ftor, hlor, kislorod) çydamly
- · Sykyş gurnama ýa-da hemişelik deformasiýa ýok
- · Arassa gurşawda çäksiz hyzmat möhleti
Çäklendirmeler (Tankydy bellikler):
- · O-şekilli halka däl— bu berk keramiki halka bolup, onuň möhürlenmegi üçin ýumşak prokladka (mis, alýumin ýa-da grafit) gerek.
- · Dinamik hereketi ýa-da uly flanş deňleşdirilmezligini kabul etmeýär.
- · Polimer O-halkalaryna garanyňda başlangyç bahasy ýokary, ýöne ömrüniň uzamagy eýeçilik çykdajylaryny azaldýar.
- · Synýan — seresaply ulanyň; nokatly urgudan ýa-da egilme stresinden gaça duruň.
Bellik:Ýokardaky maglumatlar berlen Al₂O₃ häsiýet tablisasyna berk eýerýär. Elastomer materiallar barada hiç hili maglumat berilmedi. Bu önüm elastomer O-halka däl-de, statik möhür halkasydyr. Munuň siziň ulanyş talaplaryňyza laýyk gelýändigini tassyklaň.
