Plazma aşındyryş we ýürek-damar ulgamlary üçin ýokary arassalykly alýumin kamerasynyň fokus halkasy

St.Cera-nyň kamera fokus halkasy plazma aşgarlamasynda, CVD we PVD ýarymgeçiriji enjamlarda ulanylýan möhüm proses toplumydyr. 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) öndürilen halka plazma çäklendirmek we ion burç paýlanyşyny optimizirlemek üçin plastinkanyň gyrasyny gurşap alýar, şeýlelik bilen plastinkanyň ýüzünde aşgarlama deňligini ýokarlandyrýar. Material ajaýyp plazma garşylygyny, ýokary dielektrik güýjüni (15 × 10⁶ V/m) we 1600°C çenli termal durnuklylygy üpjün edýär, bu bolsa agressiw ftor ýa-da hlor esasly plazma gurşawlarynda uzak möhletli ygtybarlylygy üpjün edýär. Takyk topraklama ID/OD we tekizlik (≤10 μm) plastinkanyň gyrasyny takyk ýerleşdirmäge mümkinçilik berýär, gyra kemçiliklerini we bölejikleriň döremegini azaldýar.

Tehniki häsiýetnamalar(99.8% Al esasynda₂O₃):

Ulanyşlar:

• · Dielektrik aşyndyryş kamerasynyň fokus halkalary (oksid, nitrid aşyndyryş)
• · Silikon aşındyryş kamerasynyň gyra halkalary
• · CVD kamerasynyň prosessor toplumy halkalary
• · PVD kamerasynyň goragy we gysgyç halkalary

Önümçilik prosesi:

Ýokary arassa alýumin okis tozy izostatik preslenýär → ýaşyl reňkde işläp, tor görnüşine golaý bolýar → 1600°C-de sinterlenýär → ID, OD we galyňlyk CNC almaz üwemek → ≤10 μm tekizlige ýetmek üçin sürtmek → ultrases arassalamak → 100% CMM barlagy. Ýüzleýiş Ra ≤0.4 μm bölejikleriň ýelmeşmegini azaldýar.

Hil gözegçiligi:

• · 100% ölçegli barlag (ID, OD, galyňlyk, parallellik)
• · Mikro çatlaklar üçin boýagyň siňdiriji synagy (çatlamalara rugsat berilmeýär)
• · 20x mikroskop astynda wizual barlag — çatlaklar, boşluklar ýa-da reňk üýtgemeleri ýok
• · ASTM D149 boýunça dielektrik berklik synagy (nusga almak)

Silikon ýa-da kwars fokus halkalaryna garanyňda artykmaçlyklary:

• · Ftorkarbon plazmasynda 5–10 esse uzak ömür dowamlylygy
• · Plastinkalary hapalamak üçin sarp edilýän eroziýa bölejikleri ýok
• · Ýokary dielektrik berklik ýaýyň döremeginiň öňüni alýar
• · Müňlerçe RF sagadyň dowamynda tekizligi we ölçeg takyklygyny saklaýar

Alternatiw material — Yttriýa bilen durnuklaşdyrylan zirkon (ZrO₂):

Ýokary döwülme çydamlylygyny talap edýän ulanyşlar üçin (meselem, ýygy-ýygydan termal sikl ýa-da mehaniki şok bolýan kameralar), ZrO₂ fokus halkalary (dykyzlygy 6.03 g/sm³, egilme güýji 1000 MPa, döwülme çydamlylygy 5–8 MPa·m¹/²) elýeterlidir. Şeýle-de bolsa, alýumin oksidi has gowy çykdajy netijeliligini hödürleýär we fokus halkalarynyň köpüsi üçin senagat standartydyr.

Özleşdirme:

• · Müşderiniň çyzgysy boýunça basgançak profilleri, stoluň üstünde goýulýan deşikler ýa-da gurnama deşikleri
• · Plazma eroziýasyna garşylygy ýokarlandyrmak üçin Y₂O₃ örtügi (galyňlygy 20–100 μm)
• · Bölek nomeriniň, sene kodynyň ýa-da deňleşdirme belgileriniň lazer bilen belgilenmegi

Bellik:Ähli maglumatlar berlen Al₂O₃ häsiýet tablisasyna berk eýerýär. ZrO₂ tehniki aýratynlyklary üçin berlen sirkoniýa maglumat sahypasyna serediň. Fokus halkasynyň dizaýnlary patent tassyklamasyny talap edip biler — müşderiler intellektual eýeçilik hukuklaryny barlamak üçin jogapkärdirler.