-
Wafer bilen işlemek üçin ýokary arassalykly alýumin keramiki robot goly
St.Cera-nyň alýumin oksidi keramiki robot goly 99,8% ýokary arassa Al₂O₃ (alýumin oksidi)-den takyk işlenip düzüldi. Ol ajaýyp egilme güýjüni (361 MPa), ýokary gatylygy (16 GPa) we pes dykyzlygy (3,93 g/sm³) özünde jemleýär, bu bolsa ýarymgeçiriji plastinka geçirmek üçin ýeňil, ýöne berk goly döredýär. Materialyň termal giňelme koeffisiýenti (7,2 × 10⁻⁶/°C) kremniý bilen ýakynlaşýar we gaýtadan işleniş wagtynda termal deňsizlikleri iň pes derejä düşürýär.
-
Bernoulli keramiki uç effektory — Inçe we döwülen wafllar üçin kontaktsyz wafli işlemegi
St.Cera-nyň Bernoulli keramiki uç effektory fiziki gatnaşyksyz waferleri dolandyrmak üçin aerodinamik göteriji ulanýar. Ýokary arassalykly 99,8% alýumin oksidinden (Al₂O₃) ýa-da kremniý karbidinden (SiC) öndürilen bu enjam, uç effektor bilen waferiň arasynda inçe howa plýonkasyny döretmek üçin basyşly gaz çykarýan takyk işlenen nozullary öz içine alýar. Bu gatnaşyksyz prinsip arka tarapdaky hapalanmany, gyralaryň döwülmegini we ýüziň zeperlenmegini aradan aýyrýar, bu bolsa ony inçe (≤100 μm), ejiz ýa-da egri waferler üçin amatly edýär. Keramiki substrat ýokary egilme güýjüni (Al₂O₃ üçin 361 MPa; SiC üçin 550–600 MPa çenli), pes massany we ajaýyp ölçegli durnuklylygy üpjün edýär, ýokary tizlikli wafer geçiriji robotlarynda gaýtalanýan ýerleşdirilişi üpjün edýär.
-
Teflon örtükli keramiki uç effektory – Duýgur wafer bilen işlemek üçin ýapyşmaýan ýüz
St.Cera-nyň Teflon (PTFE) bilen örtülen keramiki uç effektory ýokary berklikli alýumin substratyny birmeňzeş, pes sürtülmeli PTFE örtügi bilen birleşdirýär (galyňlygy 15–30 μm). Örtük örän pes sürtülme koeffisiýentini (≤0.1), ajaýyp himiki garşylygy we ýapyşmaýan häsiýetleri üpjün edýär, plastinkanyň ýapyşmagynyň öňüni alýar we arka tarapdaky hapalanmany aradan aýyrýar. Aşakdaky keramiki substrat (99.8% Al₂O₃) ýokary egilme güýjüni (361–1000 MPa), aşynma garşylygyny we 260°C çenli termal durnuklylygyny hödürleýär (örtük çägi). Bu uç effektor inçe, inçe ýa-da ýapyşýan plastinkalary (meselem, fotorezist örtüginden ýa-da himiki proseslerden soň) ulanmak üçin idealdyr.
