-
Alýumin oksidi ýokary takyklykly keramiki halkaly keramiki bölekler
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
ST.CERA Ýarymgeçiriji enjamlarynyň keramiki patronlary
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Kremniý karbidi (SiC) keramiki uj effektory – ýokary temperaturaly wafer bilen işlemek üçin ýokary berklik
St.Cera-nyň SiC keramiki uç effektory S1111 partiýa materialyny ulanyp, ýokary arassa kremniý karbidinden (SiC mukdary 99.72%, erkin Si 0.05%) öndürilýär. Ol ajaýyp mehaniki häsiýetleri hödürleýär: egilme güýji 449 MPa (ölçenen), elastiklik moduly 457 GPa (ölçenen) we Wickers gatylygy 25–28 GPa (tipiki). Pes dykyzlyk (3.10–3.15 g/sm³, tipiki) ýokary tizlikli wafer geçiriji robotlar üçin ideal bolan ýokary aýratyn berkligi üpjün edýär. 120–150 W/m·K (tipiki) ýylylyk geçirijiligi we 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ (tipiki) ýylylyk giňelme koeffisiýenti bilen bu uç effektor ýokary temperatura bilen işlenilende (1600–1700°C çenli, ýüksüz) ýylylygy netijeli ýaýradýar we ölçeg durnuklylygyny saklaýar. Gara/çal reňk we suwuň siňdirilmezligi arassa otagyň gabat gelmegini üpjün edýär.
-
Ýokary temperatura we plazma gurşawlary üçin kremniý karbidi (SiC) esasly wakuum patrony
St.Cera-nyň SiC esasly keramiki patrony ýokary arassa kremniý karbidinden öndürilýär (partiýa S1111, SiC 99.72%, erkin Si 0.05%). Ol 449 MPa ölçegli egilme güýjüni, 3.12 MPa·m¹/² döwülme berkligini we 457 GPa elastiklik moduluny üpjün edýär. Materialyň adaty ýylylyk geçirijiligi (120–150 W/m·K) we pes ýylylyk giňelmesi (4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃) termal sikl wagtynda temperaturanyň çalt üýtgemegini we plastinkanyň minimal egriligini üpjün edýär. Patron gözenekli wakuum patrony (birmeňzeş gaz akymy) ýa-da oýukly standart patron hökmünde konfigurirlenip bilner. Maksimum ulanyş temperaturasy 1600–1700°C (ýüksüz) we ajaýyp plazma eroziýa garşylygy bilen, bu patron ýokary temperaturaly plastinka gaýtadan işlemek (taýlamak, RTP) we alýumin oksidi patronlarynyň dargaýan agressiw aşynma kameralary üçin idealdyr.
-
Ýarymgeçiriji enjamlar Keramik ätiýaçlyk şaýlary Keramik daşaýjylar
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Ýokary berklikli sürtmek üçin metal esasly alýumin keramiki üwütmek halkasy
St.Cera-nyň metal esasly alýumin owradyjy halkasy ýokary arassa alýumin (99,8% Al₂O₃) keramiki aşynma gatlagyny takyk işlenen metal arkasy (adatça alýumin ýa-da poslamaýan polat) bilen birleşdirýär. Bu gibrid dizaýn owradyjy ýüzünde keramikanyň ajaýyp aşynma garşylygyny we himiki inertligini üpjün edýär, metal esas bolsa mehaniki berkligi, aňsat gurnama we döwülmelere garşylyk goşýar. Alýumin gatlagy 361 MPa egilme berkligini, 16 GPa Wikers berkligini we 800°C çenli termal durnuklylygyny üpjün edýär. Metall esas owradyjy maşynlara, planetar owradyjylara we CMP enjamlaryna integrasiýa etmek üçin gurnama deşikleri, ýerleşdiriji ştiftler ýa-da magnit häsiýetleri bilen sazlanýar.
-
Ýarymgeçirijili zond stansiýasynyň enjamlary üçin keramiki ätiýaçlyk şaýlary
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Al2O3 keramiki wafer çarhynyň ýörite işlenilişi
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
ST.CERA Ýarymgeçiriji enjamlarynyň ýöriteleşdirilen keramiki plastinasy
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
300 mm plitalary gaýtadan işlemek üçin 12 dýuýmlyk alýumin wakuum patrony
St.Cera-nyň 12 dýuýmlyk wakuum patrony 300 mm wafer bilen işlemek üçin 99,8% ýokary arassa alýumin oksidinden (Al₂O₃) takyklyk bilen işlenip düzüldi. Patron wakuumyň tutuş 300 mm diametr boýunça deň paýlanyşyny üpjün etmek üçin inçe oýukly ýüze eýedir (oýuk ini 0,5–1,0 mm, ädimi 2–3 mm). Tekizlik 5 μm aralygynda saklanýar, bu bolsa waferiň dogralanda, arka tarapy üwelende we barlagda egriliksiz berkidilmegine mümkinçilik berýär. Materialyň ýokary egilme güýji (361 MPa) we gatylygy (16 GPa) gaýtalanýan wakuum sikllerinde hem uzak möhletli ölçegli durnuklylygy kepillendirýär.
-
Integrasiýa edilen wakuum kanallary bolan alýumin oksidi keramiki uç effektory
St.Cera-nyň alýumin wakuum effektory takyk işlenen wakuum kanallaryny we sorujy deşikleri gönüden-göni 99,8% ýokary arassa alýumin okis göwresine birleşdirýär. Bu dizaýn daşarky wakuum ýastykçalaryny aradan aýyrýar, bu bolsa birmeňzeş saklamak güýji bilen waferiň gönüden-göni alynmagyny üpjün edýär. Materialyň ýokary egilme güýji (361 MPa) we gatylygy (16 GPa) gaýtalanýan wakuum sikllerinde uzak möhletli ölçegli durnuklylygy üpjün edýär. Ýastykça meýdanynyň tekizligi 10 μm aralygynda saklanýar, bu bolsa waferiň stresiniň we döwülmeginiň öňüni alýar. Wakuum portlary OEM robot gollary bilen aňsat integrasiýa üçin arka montaj flanşynda ýerleşýär.
-
Statik duýgur plitalary ulanmak üçin ESD-Howpsuz alýumin oksidi keramiki bölekleri
St.Cera-nyň ESD (elektrostatik boşalma) üçin howpsuz alýumin oksidi keramiki bölekleri 99,8% ýokary arassalykdaky Al₂O₃-dan öndürilýär, bu bolsa hususy lehimleme ýa-da örtük prosesi arkaly gazanylýar. Bu bölekler statik zarýady netijeli dargadýar we duýgur ýarymgeçiriji plastinkalara we enjamlara elektrostatik zyýanyň öňüni alýar. Esasy material ýokary egilme güýjüni (361 MPa), gatylygyny (16 GPa) we dielektrik güýjüni (15 × 10⁶ V/m) saklaýar. ESD üçin howpsuz keramiki böleklere FAB awtomatlaşdyrmasy üçin uç effektorlary, göteriji ştiftleri, ýol görkeziji reýkalary we ýörite enjamlar girýär.
